Wafer Charging Monitors, Inc.

ChargeMap® 軟體  

可重複使用的專利 CHARM®-2 晶圓充電監視器之所以能夠成為成功、可靠的現場應用產品，關鍵原因在於它是整合了專利 CHARM®-2 資料轉換技術的 WCM ChargeMap® 資料分析和顯示軟體。ChargeMap® 被開發用以提供專用的「特定應用程式」資料分析環境，以便使用者可以簡單而高效率地處理 CHARM®-2 的結果。

無可否認的實力

WCM 已將 ChargeMap® 用於分析數以千計的離子植入器、光阻去除器、電漿蝕刻器和電漿沉積系統的 CHARM®-2 實驗中。ChargeMap® 會從標準參數測試器讀取 CHARM®-2 資料檔案，並容許使用者產生表面－基底電壓、UV 劑量、充電通量以及 J-V 特性（它們都是 IC 製程設備充電損害的主要因素）的晶圓平面圖。

簡單易用

專用的 ChargeMap® 軟體可提供高效率的資料分析和顯示功能，而這些功能是由 WCM 在其廣泛的客戶支援運作中使用和不斷改進的。使用者介面採用了 WINDOWS® 樣式的下拉式選單，直觀、易於學習而且簡單易用。

在價格低廉的硬體/軟體平台上即可執行

ChargeMap® 軟體可以在具有 8MB 記憶體的 IBM 相容型 PC 上運行於 WINDOWS®-95 或 WINDOWS®-98 之下，並且容許您使用支援 WINDOWS® 的印表機。

與標準的參數測試器相容

為保證 CHARM®-2 結果準確可靠並且可以靈活地使用測試資源，我們將 ChargeMap® 設計為從 WCM 認可的標準參數測試器構造和機型讀取 CHARM 資料檔案。請與 WAFER CHARGING MONITORS, INC. 聯絡，以獲得建議選項的清單。