WCM   Wafer Charging Monitors, Inc.

Charm®-2 晶圓 | ChargeMap® 軟體 | 應用程式套件
設備與處理評估服務 | 完整清單

服務

設備與處理評估服務

WCM 的評估服務包括為客戶提供 CHARM®-2 晶圓預處理、測試、資料分析以及總結報告（其中包括晶圓表面－基底電勢的晶圓平面圖、UV 劑量以及充電源的 J-V 特性）。我們還會向您展示如何使用它們來預測裝置損毀。

產品

CHARM®-2 晶圓充電監視器

可重複使用的 CHARM®-2 監視器晶圓使製造工程師可以在用等離子或離子束處理晶圓之前，先測量這兩種射束的充電特性。在產量下降時可以透過比較設備充電「指紋」，立即找出導致問題的設備。定期使用可重複使用的 CHARM®-2 晶圓，可以偵測設備漂移或最佳化處理過程，並預防耗費大量成本才能解決的問題出現。

ChargeMap® 軟體

 用於現場分析 CHARM®-2 資料。在產品晶圓的產量嚴重降低的地方，第一次安裝 ChargeMap® 就可以透過 CHARM®-2 充電圖的空間關係，發現數種類型 IC 處理設備上的充電問題。 

DamageMap™ 軟體 

DamageMap™ 已經推出！與表面電勢測量技術不同， DamageMap™ 會產生一個充電電流（充電損害的真正原因）晶圓圖。直接將 DamageMap™ 圖與產品良率圖比較即可顯示出導致閘極氧化損害的特定製程設備。 

CHARM®-2 應用程式套件

 一個完整的套件，可以提供現場週轉時間和最佳的測量靈敏度。通常來說，只要第一次解決一個問題，就可以收回 CHARM®-2 晶圓與 ChargeMap® 軟體的成本。

完整清單

要獲得更詳盡的資訊，請參閱我們的產品與服務完整清單。




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