Wafer Charging Monitors, Inc.

如何使用 CHARM®-2 晶圓…  

首先在參數測試機上對可重複使用的 CHARM®-2 晶圓進行校準和寫入程式，然後將其放入處理容器處理較短的時間以進行測試。處理過程中聚集的電荷或產生的 UV 會改變 CHARM®-2 感測器中 EEPROM 電晶體的閾值電壓。然後在參數測試器（數種標準構造和機型中的任一種均可）上測試 CHARM®-2 晶圓以收集充電資料，接著在同一參數測試器上將程式重新寫入這些晶圓，以備下一次使用。透過這種方式，CHARM®-2 充電監視器晶圓可以多次重複使用，以確定任何 IC 製程設備（包括離子植入器、光阻去除器、電漿蝕刻器和電漿沉積系統）的充電特征。