Wafer Charging Monitors, Inc.

常見問題
（進階 FAQ）

電漿沉積中的晶圓充電

1.	問.	我可以在電漿沉積工具中使用 CHARM®-2 晶圓嗎？
	答.	可以。測試之前必須先除去沉積物，不過只要使用濕蝕刻劑就可以輕易地做到。我們在這一方面很有經驗－請與 WCM 聯絡以獲得更詳盡的資訊。
2.	問.	CHARM®-2 感測器可以區分高溫下氧化物沉積過程中的充電（此時氧化物較容易損害）與低溫下的充電（與沉積無關）嗎？
	答.	可以。CHARM®-2 晶圓包含許多感測器，其中有一部分對溫度比較敏感，而另一部分則對溫度不敏感。透過對這兩類感測器的反應進行比較，可以判斷出哪些充電事件在高溫下發生，哪些充電事件在低溫下發生。